LTUF200 是一臺(tái)集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動(dòng)切割系統(tǒng)。多功能體現(xiàn)在可用于藍(lán)寶石、SiC、SiO2、Si 和高硬高脆等材料的切割。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備CCD 圖像定位系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、隨動(dòng)系統(tǒng)、全自動(dòng)上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫自動(dòng)調(diào)用系統(tǒng)。

一、高可靠的批量生產(chǎn)系統(tǒng)

◆ 抗振的大理石平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)
◆ 低維護(hù)成本的激光器
◆ 獨(dú)有的激光表切技術(shù)
◆ 全自動(dòng)上下料系統(tǒng)
◆ 高精度長(zhǎng)壽命的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
◆ CCD定位系統(tǒng)使加工智能化
◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
◆ 自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)保證加工的焦點(diǎn)位置
◆ 科學(xué)的結(jié)構(gòu)保證加工穩(wěn)定性
◆ 用戶界面友好軟件功能強(qiáng)大

二、技術(shù)特點(diǎn)